• 1
  • 2

PEN-G&S型

清洗原理类似VUV-F型,清洗范围内3微米及以上的尘粒可以100%去除。清洗面积较小。

需要满足条件:
压缩空气:0.2-0.6Mpa
真空:-5~-10kpa
流量:1立方米/分钟以上

 

 

 

清洗试验及结果
该试验是在我们的100级洁净室内完成的。

试验资料:
清洗材料:LCD玻璃
尘粒:3.0微米的Spacer粉
工作压力:0.25Mpa
清洗头与基板距离:13.5mm
评测:表面检测装置(GI-4600)

 

© 北京伟伯康科技发展有限公司 2014-2015 All Rights Reserved.