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VUV-HG型

清洗原理同VUV-F型,清洗范围内3微米及以上的尘粒可以100%去除。工件尺寸:W84xD80xH55,最大的清洗宽度为10mm。

需要满足条件:
压缩空气:0.2-0.6Mpa
真空:-5~-10kpa
流量:1立方米/分钟以上

 

 

 

清洗试验及结果:
该试验是在我们的100级洁净室内完成的。
试验结果表明,在14Kpa的工作压力下,
3.0微米的Spacer粉能够被100%的去除。

试验资料:
清洗材料:LCD玻璃(250mm×250mm)
尘粒:3.0微米的Spacer粉
工作压力:14kpa
清洗头与基板距离:1.5mm
清洗速度:50mm/sec
评测:放大照片

 

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