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VUV-F型

产品结构及工作原理:

清洗头结构由两侧的真空腔及中间的超声波压力腔组成, 中间的超声波起到把尘粒与玻璃基板分离的作用,然后通过两侧的真空腔将其吸走,从而起到清洗的效果。

 

特性和优点:
1)3.0微米及以上的尘粒的清除率为100%
2)不需要高额消耗品,不需后续烘干,降低了生产成本
3)性能持久稳定,除了过滤器的清洗更换,只需简单的维护
4)安装空间小,横向清洗性能一致
5)非接触式清洗方式避免对工件产生损伤,
6)闭环系统,避免洁净室的空气平衡被破坏

 

 

清洗试验及结果:
该试验是在我们的100级洁净室内完成的。试验结果表明,在14Kpa的工作压力下,3.0微米的Spacer粉能够被100%的去除。

试验资料:
清洗材料:LCD玻璃(250mm×250mm)
尘粒:3.0微米的Spacer粉
工作压力:14kpa
清洗头与基板距离:1.5mm
清洗速度:50mm/sec
评测:放大照片

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